Bei der EDX-Analyse ist es möglich, einen sog. Linescan über eine definierte Strecke der Probe zu legen. Dabei wird die Intensität der ausgewählten Röntgenlinie entlang der Linie dargestellt.
![](/phy/labore/physikmaterial-elektronenmikro/images/images_beispiele/Linescan_Al2O3-mit_Cr-Dotierung.jpg.scaled/2f704772b5099a536151416db61f28f3.jpg)
Chrom-dotierter Gradientenwerkstoff (Querschliff REM und EDX-Linescan)
Die Materialkontrast-Abbildung (BSE) des Querschliffs zeigt deutlich den Übergang vom dunklen zum hellen Bereich, der mit bis zu 0,5% (!) Chrom dotiert ist.
Hier im Bild ist das qualitative Cr- Konzentrationsprofil entlang der im Bild markierten Messlinie dargestellt.
Es ist auch möglich einen quantitativen Linescan zu erstellen.