- Thermische Feldemissions - REM (Zeiss-LEO DSM982, "Gemini") mit Umbau von Point-Electronic
- Sekundärelektronendetektor ETD-SE
- SE-Inlens-Detektor
- 4 Quadranten-Rückstreuelektronendetektor (BSE)
- Kathodolumineszenzdetektor (CL) Fa. Delmic-Spark
- Röntgenmikroanalysesystem (EDS) der Fa. Bruker "xflash 6/30" mit Partikelanalyse
- Gatan-Cryo-Transfersystem "Alto2500"