![](/phy/labore/physikmaterial-elektronenmikro/images/images_geraete/Leo_982_aktuell_2.JPG.scaled/ea93917e97262a3d529278d2ee14b681.jpg)
Rechts im Bild: bis 2022 genutztes KL-System der Fa. EMSystems.
![](/phy/labore/physikmaterial-elektronenmikro/images/images_geraete/LEO982-Zeiss-Gemini_mit_CL-Spektrometer-Delmic-aktuell.jpg.scaled/1e912eded1fff94b3758745da7af695a.jpg)
Seit 2023 bei uns im Einsatz: Modernes KL-System "Sparc" der Fa. Delmic. Durch die DFG finanziertes Großgerät.
Seit über 20Jahren arbeiten wir mit dem Kathodolumineszenz-Spektrometer (KL-Spektrometer). Seit 2023 verfügen wir nun über ein neues KL-Spektrometer "Sparc" der Fa. Delmic. Mit diesem neuen System ist es uns nun möglich, auch im tiefen UV-Bereich zwischen 200 nm und 250 nm Lumineszenz zu messen. Aufgrund der hohen Lichausbeute ist es nun auch möglich ortsaufgelöste KL an e-Strahl-empfindlichen Proben zu messen.