Rechts im Bild: bis 2022 genutztes KL-System der Fa. EMSystems.
Seit 2023 bei uns im Einsatz: Modernes KL-System "Sparc" der Fa. Delmic. Durch die DFG finanziertes Großgerät.
Seit über 20Jahren arbeiten wir mit dem Kathodolumineszenz-Spektrometer (KL-Spektrometer). Seit 2023 verfügen wir nun über ein neues KL-Spektrometer "Sparc" der Fa. Delmic. Mit diesem neuen System ist es uns nun möglich, auch im tiefen UV-Bereich zwischen 200 nm und 250 nm Lumineszenz zu messen. Aufgrund der hohen Lichausbeute ist es nun auch möglich ortsaufgelöste KL an e-Strahl-empfindlichen Proben zu messen.