Voraussichtlich zum kommenden Wintersemester
| Vorlesung | Mikro- und Nanoanalytik |
| Datum | wird noch bekannt gegeben |
| Uhrzeit | wird noch bekannt gegeben |
| Ort | wird noch bekannt gegeben |
| Inhalte | 1. Grundlagen der Analytik |
| 2. Elektrisch-optische Analytik | |
| 2.1 Widerstandsmessung | |
| 2.2 Schichtdickenmessung | |
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3. Wechselwirkung von Strahlung (Photonen, Elektronen, Ionen) mit Materie |
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| 4. Morphologische Analytik | |
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4.1 Elektronenmikroskopie und Elektronenstrahl- mikroanalyse |
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| 4.2 Rastersondenmikroskopie | |
| 5. Atomar-chemische Analytik | |
| 5.1 Elektronenspektrometrische Verfahren | |
| 5.2 Ionenspektrometrische Verfahren | |
| 6. Strukturelle Analytik | |
| 6.1 Beugung von Elektronen und Röntgenstrahlung |