Das Mastermodul Halbleitertechnologie ist eine einsemestrige Wahlveranstaltung mit einem Umfang von vier Semesterwochenstunden, das in den Masterstudiengängen Elektrotechnik und Informatik angeboten wird.
Inhalt
- Kristallziehverfahren und Herstellung von Wafern
- Oxidationsverfahren
- Lithographie
- Ätzverfahren
- Legierung und Diffusion
- Ionenimplantation
- CVD-Depositionsverfahren
- Epitaxie
- Physikalische Depositionsverfahren
- MOS- und CMOS-Prozesse
Das Modul wird wieder im Sommersemester 2023 angeboten. Die Veranstaltung startet voraussichtlich im April 2023.